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產(chǎn)水量1噸/小時的半導(dǎo)體超純水設(shè)備

來源:南京純水設(shè)備??????2025/3/28 10:48:30??????點擊:

【南京純水設(shè)備】產(chǎn)水量1/小時的半導(dǎo)體超純水設(shè)備

一、參數(shù)與標(biāo)準(zhǔn)

1、水質(zhì)指標(biāo)

1)電阻率:≥18.2 MΩ·cm25℃)。

2)離子含量:硼≤0.005μg/L,硅≤0.01μg/L,金屬離子≤10ppt。

3)顆粒物:<50nm微粒≤100/L,TOC5 ppb,DO5 ppb。

2、設(shè)備材質(zhì)

1)管路:全316L不銹鋼或UPVC

2)水箱:316L氮封純水箱,防止CO?溶解。

二、配置與工藝流程

1、預(yù)處理系統(tǒng)

1)多介質(zhì)過濾器:去除懸浮物、顆粒物(粒徑>5μm),采用石英砂與無煙煤分層填充,流量匹配1T/H。

2)活性炭過濾器:吸附有機物、余氯及異味,選用椰殼活性炭,需定期更換。

3)軟化系統(tǒng):軟化水質(zhì),采用鈉型離子交換樹脂,防止RO膜結(jié)垢。

4)保安過濾器:5μm折疊濾芯,保護RO膜免受顆粒損傷。

2、反滲透系統(tǒng)

1)高壓泵:南方泵CDL8-10(功率3.7kW),壓力1.2-1.5MPa。

2RO膜:陶氏DOW XLE-4040,脫鹽率≥99.5%。

3、深度脫鹽系統(tǒng)

1EDI模塊:西門子IONPURE,電阻率≥15 MΩ·cm,采用核子級樹脂與離子交換膜,硼離子脫除率≥99.9%(出水≤0.005μg/L)。

2)拋光混床:核子級陰/陽離子樹脂,進一步去除微量離子,電阻率可提升至18.2 MΩ·cm

4、終端后處理系統(tǒng)

1TOC脫除器:185nm+254nm紫外線聯(lián)用,降解有機物(TOC<5 ppb)。

2)終端超濾:0.01μm孔徑膜包,攔截膠體與微粒(粒徑<50nm,數(shù)量<100/L)。

3)脫氣膜:去除溶解氧(DO<5 ppb),避免氧化。南京反滲透純水設(shè)備 南京EDI純水處理設(shè)備 南京工業(yè)純水設(shè)備 南京實驗室純水設(shè)備 南京醫(yī)藥純化水設(shè)備 南京去離子水處理設(shè)備

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